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Rasterelektronenmikroskop Zeiss EVO MA15

REM: Ausstattung / Spezifikationen

Gerät mit Wolfram Kathode

Hochvakum und variables Vakuum bis 400Pa möglich

Gerät ist Luftgekühlt / kein Kühlwasser erforderlich

REM: Ausstattung/Spezifikationen

Gerät mit Wolfram Kathode (zusätzlich 2. FiringUnit/Wehneltzylinder)

Anregungs-Spannung    0.2 to 30 kV

Vergrößerungsbereich   < 7 to 1,000,000x

Sondenstrom                  0,5pA – 5uA

Auflösung HV SE-Modus   

     3.0nm @30kV mit SE

     4.0nm @30kV mit BSE

     8.0nm @ 3kV SE im Hochvakuum

Detektoren

      ETSE – Detektor (Everhart-Thornly Sekundär Elektronen Detektor)

      CZ-BSD-4Quadranten Detektor „lens mounted“(Rückstreu-Elektronen -Detektor)

      Infrarot-Kamera, ChamberView mit infrarot Beleuchtung

OptiBeam®Modi

     Resolution, Depth, Analysis, Field

External Control- für Remote Zugriff z.B. vom EDX System

Tisch, 5 Achsen motorisiert, Kartesisch, Probenhöhe max. 100mm

      X = 125 mm, Y = 125 mm, Z = 50 mm

      T = 0° - 90°, R = 360°(kontinuierlich)

Joystickbox, Maus, Kontrollpanel  zur Tischkontrolle

Probenkammer Ø 365 mm Innendurchmesser und 275mm Höhe

     10 Kammerflansche, unterschiedliche Größen

     an Kammer und Tür, davon 1x für EDX, 1x WDX mit Rowlandgeometrie.

     EDX und EBSD Detektoren direkt untereinander (senkrecht zur Tischachse)

EDX Port für X-ray Analyse   variable 8.5 -20 mm WD und 35° Abnahme-Winkel

Aperturenwechsler, 3fach mechanisch

Vakuum System,

Große Leitungsquerschnitte Ø 25mm mit Anti-Vibrations-Block

      Vorvakuum -     Vorpumpe Edwards RV12, mit Ölnebelfilter

      Hochvakuum -  Turbomolekular Pumpe

VP® Druckbereich      10 - 400Pa

ZEISS User Interface/ Hardware Bediener Interface

     Drehregler und Tasten zur komfortablen Bedienung,  inkl. PC-Keyboard

Software

WIN10® Ultimate  64Bit,      PC Midi Tower, 2x 27“ TFT, PC Maus cordless

Zeiss Smart SEM 64Bit / (aktuelle Version ) div. Lizenzen

Optionale Software Lizenzen

REMCON                        Zur Fernbedienung z.B. vom EDX über RS232

Dual Channel                 Simultane Darstellung zweier unterschiedlicher Echtzeitsignale auf 1 oder 2 Monitoren

Stage Center Feature    Automatisches Zentrieren eines beliebigen Bilddetails

                                        Gamma&LUT Transfomation Live Verstärkung von Gamma und LUT LookUp Tabellen

Bild Verarbeitung    
Auflösung: bis zu 3072 x 2304 Pixel
Signal Verarbeitung  mit  Integration oder Addition
Bild Anzeige  -  Flicker-frei XVGA Monitor mit SEM Bild angezeigt bei 1024 x 768 pixel
System Kontrol    SmartSEM™ mit Windows®, bedient durch Maus, Tastatur und Zeiss User Interface Hard Panel.
Mehrsparchiges GUI deutsch/englisch (Grafik Benutzer Interface)

REM Zubehör:       2ter Wehneltzylinder für W-Kathode, 10xW-Kathoden, Systemwerkzeug

                                9fach Karusell Probenhalter (für 13mm Stiftprobenteller),

                                2 Schwalbenschwanz-Unterteile

                                (zur Benutzung eigener Probenhalter auf dem Probentisch)

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Rasterelektronenmikroskop LEO 1450VP

REM: Ausstattung/Spezifikationen

Arbeiten im:

Hochvakum und variables Vakuum bis 400Pa möglich

WIN10 Ultimate  64Bit,

PC Midi Tower, 2x 24“ TFT, PC Maus cordless

Zeiss Smart SEM 64Bit

ZEISS Hardware User Interface / inkl. PC-Keyboard

Beschleunigungsspannung

200V bis 30kV

Wolfram System

Typ AEI Base Filament

Auflösung

3.5nm @30kV

5,5nm @30kV BSD - VP Mode

Vergrößerungsbereich 15x bis 300.000x

Probenstrom 1pA - 1uA

Detektoren

SE (Everhardt Thornley)

VPSE

BSD-4Quadranten

Infrarot-Kamera, Chamber View mit Infrarot Beleuchtung

SCA  - Specimen Current Amplifier

Verstärker zum Messen des Probenstrom

Externe Kontrolle

für "Remote" Zugriff z.B. vom EDX System

inkl. Software Lizenz REMCON

Probentisch / kartesisch

5 Achsen motorisiert

X=100mm

Y=125mm

Z= 60mm (35mm motorised)

T= bis 90°Grad

R= 360° kontinuierlich

Joystickbox zur Tischkontrolle

Probenkammer 300mm x 265mm x 216 hoch

EDX Port für X-Ray Analyse

Freie Kammerflansche unterschiedlicher Größe

Zeiss User-Interface zur komfortablen Gerätesteuerung

mehrsprachiges GUI (Grafik Benutzer Interface)

Bild Verarbeitung    Auflösung: bis zu 3072 x 2304 Pixel

Signal Verarbeitung  mit  Integration oder Addition /

Pixel Averaging / Frame Averaging

Bild Anzeige  -  Flicker-frei XVGA Monitor mit

SEM Bild angezeigt bei 1024 x 768 pixel

System Kontrol    SmartSEM™** mit Windows10®,

bedient durch Maus, Tastatur und

OptiBeam®* Mode     

Resolution, Depth, Analysis

Zeiss User Interface Hard Panel

für einfachste Bedienung der Software

alle Hauptfunktionen auf Drehreglern oder Tasten

Vakuum-System

Große Leitungsquerschnitte Ø 25mm mit Anti-Vibrations-Block

Vor - Vakuum  -  Drehschieberpumpe

System - Vakuum   -  Turbopumpe

VP Variables Vakuum  10Pa bis 400Pa

REM Zubehör:

2. Firing Unit / für schnellen Kathodenwechsel

10x Kathoden

8/9 fach Karusell-Probenteller,

Systemwerkzeug

2 Arbeitstische, für REM und EDX

Alle genannten Markennamen, Logos, Programme und Warenzeichen sind Eigentümer jeweiligen Inhaber.

Das Copyright der auf diesen Seiten gezeigten Bilder liegt bei Carl Zeiss Microscop GmbH, 73447 Oberkochen

und bei Target-Messtechnik

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FE - REM LEO 1530

REM: Ausstattung/Spezifikationen

FEG System

Thermische-Feldemmission

Auflösung

3.0nm @1kV bei 2mm WD

1.0nm @20kV bei 2mm WD

Vergrößerungsbereich 20x bis 900.000x

Probenstrom 4pA - 10nA

WIN7 Ultimate  64Bit, PC

Midi Tower QuadCore, 2x 24“ TFT, PC Maus cordless

ZEISS Hardware User Interface / inkl. PC-Keyboard

Zeiss Smart SEM 64Bit

Detektoren

In-Lens, annular

SE2

BSD-4Quadranten

Infrarot-Kamera, Chambr view mit Infrarot Beleuchtung

External Kontroll

für "Remote" Zugriff z.B. vom EDX System

inkl. Softare Lizenz REMCON

Probentisch

3 Achsen motorisiert, euzentrisch

X=75mm

Y=75mm

Z=25mm

T= -15°Grad bsi 90°Grad

R= kontinuierlich

Joystickbox zur Tischkontrolle

Probenkammer 356mm x 255mm hoch

EDX Port für X-Ray Analyse bei 8.5mm WD und 35°Grad

Freie Kammerflansche unterschiedlicher Größe

Vakuum-System Ölfrei

Vor - Vakuum -  EDWARDS XDS10

System - Vakuum   -  Turbopumpe

Gun - Vakuum  -   Ionen Getter Pumpe

Wasserumlaufkühler: Von der Hejden Kühlmobil

Zeiss User-Interface zur komfortablen Gerätesteuerung

Bild Verarbeitung    Auflösung: bis zu 3072 x 2304 Pixel

Signal Verarbeitung  mit  Integration oder Addition /

Pixel Averaging / Frame Averaging

Bild Anzeige  -  Flicker-frei XVGA Monitor mit

SEM Bild angezeigt bei 1024 x 768 pixel

System Kontrol    SmartSEM™** mit Windows7®,

bedient durch Maus, Tastatur und

Zeiss User Interface Hard Panel.

Mehrsparchiges GUI (Grafik Benutzer Interface)

OptiBeam®* Mode     

Resolution, Depth, Analysis, Large Field

REM Zubehör, 8/9 fach Karusell-Probenteller, Systemwerkzeug

Alle genannten Markennamen, Logos, Programme und Warenzeichen sind Eigentümer jeweiligen Inhaber.

Das Copyright der auf dieser Seite gezeigten Bilder liegt bei Carl Zeiss Microscop GmbH, 73447 Oberkochen

und bei Target-Messtechnik

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